CNR Institutional Research Information System

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Metastable Phase of Ion Implanted Antimony in Silicon by Incoherent Light Annealing

R Rizzoli
1984

Abstract

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1984
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Ion Implanted Antimony
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/206224
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