Strain analysis in sub-micron silicon devices by TEM/CBED

A Armigliato;R Balboni;
2001

2001
Inglese
MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 2001
Royal-Microscopical-Society Conference on Microscopy of Semiconducting Materials
169
467
472
6
0-7503-0818-4
IOP PUBLISHING LTD
BRISTOL BS1 6BE
REGNO UNITO DI GRAN BRETAGNA
Sì, ma tipo non specificato
MAR 25-29, 2001
OXFORD, ENGLAND
ELECTRON-DIFFRACTION
2
none
A Armigliato; R Balboni; S Frabboni; A Benedetti; AG Cullis; G Pavia
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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