CNR Institutional Research Information System

Strain analysis in submicron electron devices by convergent beam electron diffraction

A Armigliato;R Balboni;
2002
2002
Inglese
NANOSCALE SPECTROSCOPY AND ITS APPLICATIONS TO SEMICONDUCTOR RESEARCH
International Workshop on Nanoscale Spectroscopy and Its Applications to Semiconductor Research
588
82
90
9
3-540-43312-0
Springer-Verlag
Berlin
GERMANIA
Sì, ma tipo non specificato
DEC 11-14, 2000
TRIESTE, ITALY
2
none
A Armigliato; R Balboni; S Frabboni; A Benedetti; AG Cullis
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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