CNR Institutional Research Information System

Method for suppressing transient enhanced diffusion of dopants in silicon

Salvatore Mirabella;Enrico Napolitani;Silvia Scalese
2001
2001
INFM
Inglese
https://www.google.com/patents/WO2003049163A1?cl=en&dq=method+for+suppressing+transient+enhanced+diffusion+of+dopants+in+silicon&hl=it&sa=X&ei=s9HTUfedFMPGPerCgYgI&ved=0CDUQ6AEwAA#classifications
7
06 Brevetti::06.01 Brevetto di invenzione industriale
none
Carnera, Alberto; Coati, Alessandro; Davide De, Salvador; Mirabella, Salvatore; Napolitani, Enrico; Priolo, Francesco; Scalese, Silvia
info:eu-repo/semantics/patent
285
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/232836
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