CNR Institutional Research Information System

Incoherent Light Annealing of High Dose Arsenic Implantation in Silicon

R Rizzoli;
1985
1985
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
V.T.Nguyen, A.G.Cullis
Proc. MRS-Europe IV: Energy Beam Solid Interact. and Trans. Thermal Processing,
E-MRS Spring Meeting
331
336
Les Editions de Physique
Les Ulis
FRANCIA
Sì, ma tipo non specificato
1985
Strasburgo (Francia)
3
none
Rgalloni, ; Rizzoli, R; Larsen, Anylandsted
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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