Il diamante è considerato un materiale molto promettente per lo sviluppo di dispositivi per la rive-lazione di radiazione UV grazie alle sue peculiari pro-prietà chimiche e fisiche (in particolare ottiche ed elettriche). In questo lavoro sono presentati i risultati ottenuti su dispositivi basati su film di diamante poli-cristallino ROD (Random Oriented Diamond), pro-dotti con la tecnica MWPECVD (MicroWawe Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) su substrati di silicio intrinseco e drogato-p (100). Sui dispositivi realizzati è stato eseguito uno studio comparativo in funzione del tipo di substrato e del diverso passo tra gli elettrodi di Cr/Au complanari ed interdigitati. So-no state quindi determinate le proprietà chimico-strutturali, morfologiche, elettriche ed ottiche dei film. In particolare, la risposta ottica è stata misurata in aria, utilizzando una lampada impulsata allo Xe accoppiata con una fibra ottica di quarzo, filtri inter-ferenziali per selezionare la lunghezza d"onda ed un"elettronica di misura di read-out basata su un am-plificatore sensibile alla carica a basso rumore. I ri-sultati sperimentali evidenziano una dipendenza delle prestazioni del dispositivo dal tipo di substrato utiliz-zato e dalla geometria dei contatti interdigitali.
Sensore per radiazione ultravioletta a base di film di diamante policristallino
G Cicala;G Senesi;L Velardi
2012
Abstract
Il diamante è considerato un materiale molto promettente per lo sviluppo di dispositivi per la rive-lazione di radiazione UV grazie alle sue peculiari pro-prietà chimiche e fisiche (in particolare ottiche ed elettriche). In questo lavoro sono presentati i risultati ottenuti su dispositivi basati su film di diamante poli-cristallino ROD (Random Oriented Diamond), pro-dotti con la tecnica MWPECVD (MicroWawe Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) su substrati di silicio intrinseco e drogato-p (100). Sui dispositivi realizzati è stato eseguito uno studio comparativo in funzione del tipo di substrato e del diverso passo tra gli elettrodi di Cr/Au complanari ed interdigitati. So-no state quindi determinate le proprietà chimico-strutturali, morfologiche, elettriche ed ottiche dei film. In particolare, la risposta ottica è stata misurata in aria, utilizzando una lampada impulsata allo Xe accoppiata con una fibra ottica di quarzo, filtri inter-ferenziali per selezionare la lunghezza d"onda ed un"elettronica di misura di read-out basata su un am-plificatore sensibile alla carica a basso rumore. I ri-sultati sperimentali evidenziano una dipendenza delle prestazioni del dispositivo dal tipo di substrato utiliz-zato e dalla geometria dei contatti interdigitali.I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
