CNR Institutional Research Information System

TEM two-dimensional profiles of B in silicon through sub-micrometer mask

RAINERI V;
1994
1994
Inglese
Jouffrey B, Colliex C
ELECTRON MICROSCOPY 1994, VOLS 2A AND 2B: APPLICATIONS IN MATERIALS SCIENCES
13th International Congress on Electron Microscopy
641
642
2
2-86883-226-1
Sì, ma tipo non specificato
JUL 17-22, 1994
Paris, France
WOS:A1994BE09Y00311
2
none
SPINELLA C; RAINERI V; SAGGIO M; CAMPISANO SU
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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