Quantitative X-ray microanalysis of thin NiO films by Monte Carlo and Cliff-Lorimer methods

Aldo Armigliato;Gian Carlo Gazzadi;
2014

2014
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto Nanoscienze - NANO
analytical electron microscopy
Monte Carlo simulation
nickel-oxide films
bilayers
FIB-thinned wedge lamella
extrapolation method
k-factors
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