CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Maskless nano-implant of 20 keV Ga+ in bulk Si(1 0 0) substrates

D'Arrigo Giuseppe;Mio Antonio Massimiliano;Rimini Emanuele;
2014

Abstract

[object Object]
2014
Inglese
341
7
12
2-s2.0-84914125231
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84914125231&origin=inward
Annealing
Damage
Nano-beam
SPEG
5
info:eu-repo/semantics/article
262
Milazzo, R. G.; D'Arrigo, Giuseppe; Mio, Antonio Massimiliano; Rimini, Emanuele; Spinella, Corrado R.; Peto, Lloyd; Nadzeyka, Achim; Bauerdick, Sven...espandi
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
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