CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Millisecond infrared laser irradiation of SiOxNy: The role of nitrogen in the photoluminescence emission

Ruggeri Rosa;Mannino Giovanni;Romano Lucia;Privitera Vittorio
2014

Abstract

[object Object]
2014
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
9781479980604
chemical vapor deposition
laser annealing
photoluminescence
[object Object
04.01 Contributo in Atti di convegno
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