CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Millisecond infrared laser irradiation of SiOxNy: The role of nitrogen in the photoluminescence emission

Ruggeri Rosa;Mannino Giovanni;Sciuto Antonella;Romano Lucia;Privitera Vittorio
2014

Abstract

[object Object]
2014
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC), 2014 IEEE 9th
31
33
9781479980604
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84921285234&origin=inward
chemical vapor deposition
laser annealing
photoluminescence
[object Object
2-s2.0-84921285234
6
none
Ruggeri, Rosa; Mannino, Giovanni; Sciuto, Antonella; Romano, Lucia; Neri, Fortunato; Privitera, Vittorio
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/280087
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