CNR Institutional Research Information System

High Dose Al + Implanted and Microwave Annealed 4H-SiC

R Nipoti;F Mancarella;S Zampolli;
2011
2011
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
14th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2011)
Sì, ma tipo non specificato
September 11-16, 2011
Cleveland, Ohio, USA
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Nipoti, R; Nath, A; V Rao, Mulpuri; Hallén, A; Mancarella, F; Zampolli, S; L Tian, Y
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
7
04.03 Poster in Atti di convegno
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