CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Interface quality of atomic layer deposited La-doped ZrO2 films on gepassivated In0.15Ga0.85As substrates

Molle Alessandro;Spiga Sabina;Fanciulli Marco
2010

Abstract

[object Object]
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
INFM
9781617387548
04.01 Contributo in Atti di convegno
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