A broad review of the different forms of 3C-SiC on silicon is presented in this chapter.

SiC Films and Coatings: Amorphous, Polycrystalline, and Single Crystal Forms

La Via F;
2012

Abstract

A broad review of the different forms of 3C-SiC on silicon is presented in this chapter.
2012
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
silicon carbide
CVD growth
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