User manual of the reactor for large area III-V epitaxial deposition
il rapporto interno descrive l'utilizzo del reattore epitassiale denominato "MOVPE 3" e finalizzato alla crescita su larga area di semiconduttori III-V.
Manuale di utilizzo - Reattore MOVPE 3
Matteo Bosi;Giovanni Attolini;Claudio Pelosi
2004
Abstract
il rapporto interno descrive l'utilizzo del reattore epitassiale denominato "MOVPE 3" e finalizzato alla crescita su larga area di semiconduttori III-V.File in questo prodotto:
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