CNR Institutional Research Information System

Synthesis and characterization of novel diaminodimethylsilane derivatives as potential CVD precursors for zirconium or zirconium/silicon nitrides

G Carta;F Benetollo;G Rossetto;P Zanella
2003
2003
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
04.01 Contributo in Atti di convegno
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