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The utilization of negative resisit SU-8 for manufacturing RF MEMS switches has been studied.

SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures

Andrea Lucibello;M Maiani;E Proietti;Romolo Marcelli
2010

Abstract

The utilization of negative resisit SU-8 for manufacturing RF MEMS switches has been studied.
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Flavio Giacomozzi, Alexandru Muller, Dan Dascalu and Robert Plana
Microwave and Millimeter Wave MEMS
161
168
8
978-973-27-1916-9
http://www.nano-link.net/mne/
Editura Academiei Române
Bucuresti
ROMANIA
Sì, ma tipo non specificato
RF MEMS
SU-8
Polymers
5
02 Contributo in Volume::02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
268
none
Lucibello, Andrea; De Angelis, G; Maiani, M; Proietti, E; Marcelli, Romolo
info:eu-repo/semantics/bookPart
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/449539
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