CNR Institutional Research Information System

Synthesis and characterization of Co(Al(OSiMe3)4 and its application as CVD single-surce precursor

Carta G;Crociani L;El Habra N;Rossetto G;Zanella P
2004
2004
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
metal oxide films
CVD
04.03 Poster in Atti di convegno
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Descrizione: Synthesis and characterization of Co(Al(OSiMe3)4 and its application as CVD single-surce precursor
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