CNR Institutional Research Information System

A capacitance and optical method for the static and dynamic characterisation of mems devices

Fassi I;
2005
2005
Istituto di Sistemi e Tecnologie Industriali Intelligenti per il Manifatturiero Avanzato - STIIMA (ex ITIA)
Inglese
DTIP 2005 - Design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS
Sì, ma tipo non specificato
June 2005
Montreaux, Switzerland
ISBN:2-84813-0357-1 *come si trova sulla pubblicazione
1
none
Ferraris E.; Fassi I.; De Masi B.; Rosing R.; Richardson A.
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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