CNR Institutional Research Information System

Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM

Parisini A;Morandi V;Merli PG;
2007
2007
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
MRS, Fall Meeting
Sì, ma tipo non specificato
Boston (USA)
6
none
Parisini, A; Giubertoni, D; Bersani, M; Morandi, V; Merli, Pg; van den Berg, Ja
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/69290
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