An efficient silicon micromachining technique for thermally-based microsystems
Roncaglia A;Mancarella F;Cardinali GC;Sanmartin M;Pizzochero G;Severi M
2005
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.