CNR Institutional Research Information System

RBS channeling analysis of ion irradiation effects in heavily doped Si:As

Lulli G;Bianconi M;Ferri M;Fortunato G;Mariucci L
2006
2006
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
15th international conference on ion beam modification of Materials, 18-22 September 2006, Taormina (Italy)
Sì, ma tipo non specificato
Taormina (Italy)
5
none
Lulli G; Bianconi M; Ferri M; Fortunato G; Mariucci L
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/69307
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