CNR Institutional Research Information System

An optimized front-side micromachining process for dielectric membranes using TMAH

Mancarella F;Roncaglia A;Cardinali GC;Tamarri F;
2004
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/69310
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