CNR Institutional Research Information System

An optimized front-side micromachining process for dielectric membranes using TMAH

Mancarella F;Roncaglia A;Cardinali GC;Tamarri F;
2004
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
9th Italian Conference on Sensors and Microsystems (AISEM 2004)
Sì, ma tipo non specificato
Ferrara (Italy)
5
none
Mancarella, F; Roncaglia, A; Cardinali, Gc; Tamarri, F; Passini, M
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/69310
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