CNR Institutional Research Information System

PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor

Annalisa Convertino;Rosalba Gerbasi;Sesto Viticoli
2003
2003
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/78243
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