CNR Institutional Research Information System

Alkyl, alkoxide and acetylacetonate aluminum compounds for Al2O3 films via MOCVD

Giovanni Carta;Rosalba Gerbasi
2003
2003
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/78995
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