MOCVD of magnesium titanium oxide thin films using an unusual magnesium precursor

Carta Giovanni;Rosalba Gerbasi;Pierino Zanella;Omar Saoncella
2007

2007
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
Sixteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition
Sì, ma tipo non specificato
Scheveningen, Den Haag
MgTiO3
MOCVD
unusual precursor
Mg(Cp-Me)2
7
none
Carta, Giovanni; Gerbasi, Rosalba; Rossetto, Gilberto; Zanella, Pierino; Natali, Marco; Bolzan, Marco; Saoncella, Omar
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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