CNR Institutional Research Information System

Plasma deposition of hydrogenated diamond like carbon films from CH4-Ar mixtures

G Cicala;
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
European Mat. Res. Soc. Spring Meeting (E-MRS 2003) Symposium G Protective coatings and thin films-03 G/PI.40 p. G-7, June 2003
Strasbourg (France).
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
G. Cicala; P. Bruno; A. M. Losacco;G. Mattei
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
1
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/85406
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