CNR Institutional Research Information System

?Effect of bias voltage on the growth and properties of PECVD hydrogenatede amorphous carbon films

G Cicala;G S Senesi
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Abstracts and Full-Papers CD of 16th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-16) IUPAC, Ed. R. d?Agostino, P. Favia, F. Fracassi and F. Palumbo, Po8.8, 392, June 2003
Taormina (Italy)
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
G. Cicala; P. Bruno; A.M. Losacco;G. S. Senesi
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
2
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/85408
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