CNR Institutional Research Information System

PECVD of hydrogenated diamond like carbon films from CH4-Ar mixtures: growth chemistry and material characteristics

G Cicala;
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
14th European Conference on Diamond, Diamond ?Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides & Silicon Carbide, 5.3.19 September 2003 Salzburg (Austria) ELSEVIER.
Salzburg (Austria)
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Cicala, G; Bruno, P; M Losacco, A
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
3
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/85410
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