CNR Institutional Research Information System

Modified oxidation process for gate oxide growth on SiC

RNipoti
2003
2003
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
III SIC WORKSHOP 2003
Chivasso (TO)
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
M.Canino; F. Moscatelli; A.Poggi; G.C. Cardinali;R.Nipoti
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
0
04.03 Poster in Atti di convegno
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