CNR Institutional Research Information System

Contact resistivity of Al/Ti ohmic contacts on p-type ion implanted 4H- and 6H-SiC

A Poggi;
2003
2003
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
III SIC WORKSHOP 2003
Chivasso (TO)
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
R.Npoti; F.Moscatelli; A. Scorzoni; A. Poggi; G.C. Cardinali
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
0
04.03 Poster in Atti di convegno
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