PECVD a-C:H films for STW resonant devices.

G Cicala;
2004

2004
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Proceeding
European Mat. Res. Soc. Spring Meeting (E-MRS 2004) Symposium J Synthesis, characterization and advanced applications of amorphous carbon films
J-PII-8
May 2004
Strasbourg France
1
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
G. Cicala; P. Bruno; A. Dragone; A. M. Losacco; R. Caminiti
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