CNR Institutional Research Information System

Internal Gettering Efficiency in p/p+ and p/p- Silicon Epistructures

Frigeri C;Gombia E
2003
2003
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
Si
gettering
annealing
EBIC
04.02 Abstract in Atti di convegno
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