CNR Institutional Research Information System

Internal Gettering Efficiency in p/p+ and p/p- Silicon Epistructures

Frigeri C;Gombia E
2003
2003
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
Inglese
10th Meeting on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology - GADEST 03
Sì, ma tipo non specificato
21-26 Sett. 2003
Berlin (Germania)
Si
gettering
annealing
EBIC
2
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Frigeri C.; Borionetti G.; Godio P.; Gombia E.
04.02 Abstract in Atti di convegno
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