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EBIC study of internal vs external and B-activated gettering in Epi Silicon on Cz substrates

Frigeri C;
2003
2003
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
gettering
Si
EBIC
04.02 Abstract in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/95397
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