CNR Institutional Research Information System

Mechanical characterization of 3C-SiC grown on Si micromachined cantilever

Marasso S;Watts B E;Attolini G;Bosi M;Nasi L;Ranzieri P
2010
2010
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
SiC
stress
MEMS
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/99696
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