CNR Institutional Research Information System

Mechanical characterization of 3C-SiC grown on Si micromachined cantilever

Marasso S;Watts B E;Attolini G;Bosi M;Nasi L;Ranzieri P
2010
2010
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
8th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2010
Oslo
SiC
stress
MEMS
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Ricciardi, C; Canavese, G; Castagna, R; Ferrante, I; Marasso, S; Ricci, A; Watts, B E; Attolini, G; Bosi, M; Nasi, L; Ranzieri, P
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
11
04.03 Poster in Atti di convegno
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