CNR Institutional Research Information System

Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si

B E Watts;G Attolini;M Bosi;C Frigeri;C Ferrari
2008
2008
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
SiC
wafer bending
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/117961
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