CNR Institutional Research Information System

Post-growth process effect on hetero-epitxial 3C-SiC wafer bow and residual stress

La Magna A;D'Arrigo G;La Via;
2013
2013
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
740-742
301
305
Sì, ma tipo non specificato
9
info:eu-repo/semantics/article
262
Anzalone, R; Camarda, M; Auditore, A; Piluso, N; Severino, A; La Magna, A; D'Arrigo, G; Via, La; F,
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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