Hetero-epitaxial Single Crystal 3C-SiC Opto-Mechanical Pressure Sensor

Alberto Roncaglia;Luca Belsito;Roberta Nipoti;Francesco La Via
2014

2014
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
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