CNR Institutional Research Information System

Impact of surface processing on the electrical properties of p-type implanted 4H-SiC for power devices

F Giannazzo;R Lo Nigro;
2011
2011
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
978-88-8080-123-8
04.01 Contributo in Atti di convegno
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