Impact of surface processing on the electrical properties of p-type implanted 4H-SiC for power devices

F Giannazzo;R Lo Nigro;
2011

2011
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Proceedings of the 35th European Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits - WOCSDICE2011
35th European Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits - WOCSDICE2011
169
170
978-88-8080-123-8
V. Raineri and F. Roccaforte
Catania
ITALIA
No
29 May - 1 June, 2011
Catania (Italy)
3
none
A. Frazzetto ; F. Giannazzo ; R. Lo Nigro ; M. Saggio ; E. Zanetti ; V. Raineri
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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