L'area dei microsistemi è interdisciplinare, sia per quanto riguarda l'orizonte applicativo sia per le conoscenze richieste nel processo fabbricativo. Queste conoscenze spaziano dalla scienza dei materiali all'ingegneria elettronica e meccanica ed alla fisica. Il denominatore comune di una solida attività sui microsistemi è la tecnologia. In questo articolo verranno descritte brevemente vari tipi di tecnologie adottate nella realizzazione di microsistemi. Verranno poi passate in rassegna alcune applicazioni micromeccaniche che impegnano alcuni gruppi di ricerca italiani.
La micromeccanica del silicio
A Bearzotti;P Maccagnani;A Parisini;A Poggi;
1997
Abstract
L'area dei microsistemi è interdisciplinare, sia per quanto riguarda l'orizonte applicativo sia per le conoscenze richieste nel processo fabbricativo. Queste conoscenze spaziano dalla scienza dei materiali all'ingegneria elettronica e meccanica ed alla fisica. Il denominatore comune di una solida attività sui microsistemi è la tecnologia. In questo articolo verranno descritte brevemente vari tipi di tecnologie adottate nella realizzazione di microsistemi. Verranno poi passate in rassegna alcune applicazioni micromeccaniche che impegnano alcuni gruppi di ricerca italiani.File in questo prodotto:
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