CNR Institutional Research Information System

Lateral dopant profiles in polycrystalline Si delineated by scanning capacitance and transmission electron microscopy

Giannazzo F;Raineri V;
2001
2001
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
PROCEEDINGS OF THE 5TH MULTINATIONAL CONGRESS ON ELECTRON MICROSCOPY
5th Multinational Congress on Electron Microscopy
313
314
1-58949-003-7
Sì, ma tipo non specificato
SEP 20-25, 2001
LECCE, ITALY
WOS:000183071700124
4
none
Giannazzo, F; Raineri, V; Messina, A; Spinella, C
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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