CNR Institutional Research Information System

Ni-silicide Contacts to 6H-SiC: Contact Resistivity and Barrier Height on Ion Implanted n-type and Barrier Height on p-type Epilayer

Moscatelli F;Scorzoni A;Poggi A;Canino M;Nipoti R
2004
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
SiC
barrier hight
Ni contacts
contact resistivity
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/86702
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