CNR Institutional Research Information System

ALD mechanisms in the growth of amorphous Al2O3 onto different substrates

Pelosi C;Frigeri C;
2007
2007
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
ALD growth
amorphous Al2O3
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/99190
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