CNR Institutional Research Information System

Damage and recovery in boron doped SOI layers after high energy implantation

Ferri M;Solmi S;Armigliato A;
2005
2005
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
MMDmeeting - June 22th-25th, 2005 Genova (Italy)
Sì, ma tipo non specificato
Genova (GE)
5
none
Ferri, M; Solmi, S; Armigliato, A; Nobili, D; Passini, M
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/144511
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