Realizzazioni di prototipi di rivelatori SPAD singoli al silicio con bassa tensione di polarizzazione, elevata resa, ridotto rumore intrinseco ed elevata efficienza quantica.

Sviluppo di un flusso di processo tecnologico per la realizzazione di rivelatori SPAD monolitici

Maccagnani Piera;Solmi Sandro;Poggi Antonella;Tamarri Fabrizio;Negrini Paolo;Pizzochero Giulio
2004

Abstract

Realizzazioni di prototipi di rivelatori SPAD singoli al silicio con bassa tensione di polarizzazione, elevata resa, ridotto rumore intrinseco ed elevata efficienza quantica.
2004
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/195664
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