CNR Institutional Research Information System

Strain Evaluation in SiC MEMS Test Structures

M Bosi;G Attolini;BE Watts;C Frigeri;F Rossi;A Poggi;A Roncaglia;F Mancarella;
2009
2009
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
04.01 Contributo in Atti di convegno
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